Techniques de fabrication des microsystemes 1 : structures et microsystemes electromecaniques en couches minces: Serie Microsystemes

Le premier volume presente les procedes de fabrication fondes sur la photolithographie, et qui permettent de raliser les microstructures en couches minces utilises pour fabriquer des micromoteurs, des microacclromtres ou encore des matrices de micromiroirs.

La photolithographie, ainsi que les mthodes de dpt, de gravure, et de caractrisation de couches minces sont dcrites dans ce volume.

Des exemples de procds et de ralisations permettront aux tudiants et aux ingnieurs de se familiariser avec les possibilits, mais aussi d'apprhender les limites de ces technologies.